Контактний отвір - це отвір ізоляції між металевим шаром і активною областю або полікремнієм. Це ключова структура в мікроелектроніці, зазвичай витравлена вертикально на кремнієвій пластині, яка використовується для з’єднання першого металевого з’єднання та пристрою підкладки та наповнена металами, такими як вольфрам. Його часто використовують у виробництві інтегральних схем для реалізації електричних з’єднань між різними шарами схеми.
Оскільки якість контактного отвору безпосередньо впливає на продуктивність і надійність усієї схеми, контактний отвір необхідно проектувати та виготовляти з урахуванням багатьох факторів, таких як електричні характеристики, термічна стабільність, механічна міцність і продуктивність. Для забезпечення хороших електричних з’єднань і меншого опору контактні отвори зазвичай заповнюють металом або іншими провідними матеріалами. При цьому для запобігання механічних пошкоджень і хімічної корозії периметр контактного отвору зазвичай покривають захисним шаром.
