Синтез нітриду кремнію вперше повідомили в 1857 році Анрі Едуардом Сен-Клер Девілл та Фрідріх Вьолер. У їх синтезі тигель з кремнію помістили в тигель, наповнений вуглецем і нагрівали для зменшення проникнення кисню. Вони повідомили про продукт, що вони називали нітридом кремнію, але не змогли визначити його хімічний склад.
У 1879 році Пол Шютценбергер отримав продукт, нагріваючи кремній, змішаний з підкладкою (паста, яку можна використовувати як тигельний вкладиш, отриманий шляхом змішування вугілля, вугільних брикетів або коксу з глиною) у вибуховій печі та повідомив про це як склад із si3n4. У 1910 році Людвіг Вайс та Теодор Енгельхардт виробляли SI3N4 шляхом нагрівання елементарного кремнію в чистому азоті. У 1925 році Фрідріх і Сіттіг синтезували нітрид кремнію, нагріваючи діоксид кремнію та вуглець в атмосфері азоту до 1250-1300 ступінь, використовуючи теплове відновлення вуглецю.
