Його метод синтезу в основному використовує елементарний кремній і азот для хімічної реакції в умовах від 1300 градусів Цельсія до 1400 градусів Цельсія, а потім отримує нітрид кремнію. Він також може бути синтезований через диімін або вуглець. Реакція термічного відновлення синтезується в азоті при температурі від 1400 до 1450 градусів за Цельсієм. Карботермічна реакція відновлення є простим і економічно ефективним способом виробництва порошку нітриду кремнію в промисловості.
Якщо ви хочете нанести нітрид кремнію на напівпровідник, ви можете використати технологію хімічного осадження з парової фази під низьким тиском при відносно високій температурі за допомогою вертикальної чи горизонтальної трубчастої печі, або ви можете використати технологію хімічного осадження з парової фази за відносно високої температури. . Виконують під низьким вакуумом. Оскільки параметри елементарної комірки нітриду кремнію відрізняються від параметрів елементарного кремнію, згенерована плівка нітриду кремнію створюватиме натяг або напругу залежно від методу осадження. Особливо, коли використовується технологія хімічного осадження з плазмою, її можна регулювати за допомогою параметрів осадження, що зменшує напругу.
Гранульований нітрид кремнію важко піддається обробці, його не можна нагрівати вище температури плавлення, тому що при перевищенні температури плавлення нітрид кремнію розкладається на кремній і азот, тому ви повинні звернути на це увагу під час обробки.
